ข้อดีของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด

ข้อดีของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด

1. การขยายภาพ
เนื่องจากขนาดของหน้าจอเรืองแสงของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดได้รับการแก้ไข การเปลี่ยนแปลงของการขยายทำได้โดยการเปลี่ยนความกว้างของการสแกนของลำแสงอิเล็กตรอนบนพื้นผิวของตัวอย่าง
หากกระแสของขดลวดสแกนลดลง ช่วงการสแกนของลำแสงอิเล็กตรอนบนตัวอย่างจะลดลงและกำลังขยายจะเพิ่มขึ้น การปรับสะดวกมาก และสามารถปรับได้อย่างต่อเนื่องตั้งแต่ 20 ครั้งถึงประมาณ 200,000 ครั้ง

2. ความละเอียด
ความละเอียดเป็นดัชนีประสิทธิภาพหลักของ SEM
ความละเอียดถูกกำหนดโดยเส้นผ่านศูนย์กลางของลำอิเล็กตรอนที่ตกกระทบและประเภทของสัญญาณมอดูเลต:
เส้นผ่านศูนย์กลางของลำแสงอิเล็กตรอนที่เล็กลง ความละเอียดก็จะยิ่งสูงขึ้น
สัญญาณทางกายภาพที่ใช้สำหรับการถ่ายภาพมีความละเอียดต่างกัน
ตัวอย่างเช่น อิเล็กตรอน SE และ BE มีช่วงการแผ่รังสีที่แตกต่างกันบนพื้นผิวของตัวอย่าง และความละเอียดของพวกมันต่างกัน โดยทั่วไป ความละเอียดของ SE จะอยู่ที่ประมาณ 5-10 นาโนเมตร และของ BE จะอยู่ที่ประมาณ 50-200 นาโนเมตร

3. ระยะชัดลึก
หมายถึงความสามารถที่หลากหลายที่เลนส์สามารถโฟกัสและภาพบนส่วนต่างๆ ของตัวอย่างที่มีความไม่สม่ำเสมอได้พร้อมกัน
เลนส์สุดท้ายของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดใช้มุมรับแสงขนาดเล็กและทางยาวโฟกัสที่ยาว เพื่อให้ได้ระยะชัดลึกที่มาก ซึ่งมากกว่ากล้องจุลทรรศน์แบบใช้แสงทั่วไป 100-500 เท่า และใหญ่กว่า 10 เท่า ของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องผ่าน
ความชัดลึกขนาดใหญ่ ความรู้สึกสามมิติที่แข็งแกร่ง และรูปร่างที่เหมือนจริงคือคุณสมบัติที่โดดเด่นของ SEM
ตัวอย่างสำหรับ SEM แบ่งออกเป็นสองประเภท:

1 เป็นตัวอย่างที่มีค่าการนำไฟฟ้าที่ดี ซึ่งโดยทั่วไปสามารถคงรูปร่างเดิมไว้ได้และสามารถสังเกตได้ด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนโดยไม่ต้องทำความสะอาดเพียงเล็กน้อย

2. ตัวอย่างที่ไม่นำไฟฟ้าหรือตัวอย่างที่สูญเสียน้ำ ก๊าซออก หดตัวและบิดเบี้ยวในสุญญากาศ จำเป็นต้องได้รับการบำบัดอย่างเหมาะสมก่อนที่จะสังเกตได้