เมื่อเทียบกับกล้องจุลทรรศน์แบบใช้แสงและกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน ปัจจัยใดที่จำกัดกำลังการแยกของกล้องจุลทรรศน์แรงปรมาณู
กำลังแยกของกล้องจุลทรรศน์แบบใช้แสงแบบดั้งเดิมถูกจำกัดโดยขีดจำกัดการเลี้ยวเบนของแสง และระยะแยกต่ำสุดคือครึ่งหนึ่งของความยาวคลื่นแสง กำลังแยกของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนยังถูกจำกัดด้วยขีดจำกัดการเลี้ยวเบน และกำลังแยกต่ำสุดคือครึ่งหนึ่งของความยาวคลื่นอิเล็กตรอน เดอ บรอยลี ดังนั้น กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนจึงสามารถบรรลุกำลังแยกที่สูงกว่ากล้องจุลทรรศน์แบบใช้แสงแบบดั้งเดิม
กำลังการแยกของกล้องจุลทรรศน์แรงปรมาณูส่วนใหญ่ขึ้นอยู่กับ: ขนาดของปลายโพรบ ค่าสัมประสิทธิ์ความยืดหยุ่นของไมโครคาน ยิ่งค่าสัมประสิทธิ์ยืดหยุ่นต่ำ กล้องจุลทรรศน์แรงปรมาณูที่มีความไวมากขึ้น อัตราส่วนของความยาวของคานยื่นต่อความยาวของแสงเลเซอร์ ความไวของเครื่องตรวจจับ PSD ต่อตำแหน่งจุด สำหรับภาพที่มีความละเอียดระดับหนึ่ง ยิ่งช่วงการสแกนเล็กลงเท่าใด พื้นผิวที่ได้ก็จะยิ่งละเอียดมากขึ้นเท่านั้น
