การจัดตั้งโครงการสอบเทียบกล้องจุลทรรศน์โลหะวิทยา

การจัดตั้งโครงการสอบเทียบกล้องจุลทรรศน์โลหะวิทยา

(1) ติดตั้งเลนส์ใกล้วัตถุ วางไมโครมิเตอร์มาตรฐาน 0.01 มม. บนโต๊ะทำงาน แล้วกดให้แน่น หมุนปุ่มโฟกัสเพื่อปรับโฟกัสไปที่กึ่งกลางของไมโครมิเตอร์ โดยมีการสร้างภาพที่ชัดเจนที่กึ่งกลางของขอบเขตการมองเห็น ในเวลานี้ ให้สัมผัสหัวไดอัลเกจกับพื้นผิวของโต๊ะทำงาน และจัดตำแหน่งให้ตรงกับตำแหน่งศูนย์ของมิเตอร์

หมุนอีกครั้งเพื่อโฟกัสและปรับโฟกัสไปที่ขอบของไมโครมิเตอร์ ทำให้ขอบเขตการมองเห็นของภาพมีความชัดเจน

เมื่อพิจารณาจากไดอัลเกจ ค่าออฟเซ็ตสูงสุดคือความคลาดเคลื่อนของความโค้งของเลนส์ใกล้วัตถุ และวัตถุประสงค์อื่นๆ จะได้รับการสอบเทียบตามนั้น ตัวบ่งชี้สำหรับข้อผิดพลาดความโค้งของสนามของเลนส์ใกล้วัตถุมีดังนี้: 10X<0.2mm, 25X<0.1mm, 40X<0.07mm, 63X<0.065mm, 100X<0.04mm

(2) ความถูกต้องของการขยายวัตถุประสงค์: ติดตั้งเลนส์ใกล้ตามาตรฐาน 10 X และวัตถุประสงค์ที่ทดสอบ วางไมโครมิเตอร์มาตรฐาน 0.01 มม. บนโต๊ะทำงานแล้วกดให้แน่น เมื่อสังเกต ไมโครมิเตอร์ควรตรงกับเรติเคิลในช่องมองภาพ และการวัดค่าออฟเซ็ตคือข้อผิดพลาดในการขยาย เลนส์ใกล้วัตถุอื่นๆ มีการสอบเทียบด้วยวิธีนี้ โดยมีข้อผิดพลาดไม่เกิน 5%

(3) ความแม่นยำของเรติเคิลช่องมองภาพ: หมุนเลนส์ของช่องมองภาพด้วยเรติเคิล วางเรติเคิลบนโต๊ะทำงานของจอแสดงผลสากล และปรับความยาวโฟกัส ปรับโต๊ะทำงานเพื่อให้เส้นแนวนอนของแผ่นแบ่งขนานกับระยะรางนำตามยาวของจอแสดงผลอเนกประสงค์ และจัดให้อยู่ในตำแหน่งศูนย์ วัดทุกๆ 20 ตารางจนถึงตารางที่ 100 และข้อผิดพลาดไม่ควรเกิน 5um

(4) ช่วงการถ่ายภาพที่ชัดเจนของเลนส์ใกล้วัตถุทำได้โดยการโฟกัสไมโครมิเตอร์หรือตัวอย่างโลหะด้วยเลนส์ใกล้วัตถุที่ทดสอบและช่องมองภาพ 10X เพื่อให้แน่ใจว่าได้ภาพที่ชัดเจน เมื่อภาพตรงกลางของขอบเขตการมองเห็นชัดเจน ข้อผิดพลาดในช่วงความชัดเจนของภาพที่วัดได้ภายในขอบเขตการมองเห็นจะต้องไม่น้อยกว่า 60%

(5) ติดตั้งช่องมองภาพ 10X ของอุปกรณ์ที่ทดสอบบนค่าตารางของเลนส์ใกล้วัตถุแต่ละอันที่สัมพันธ์กับช่องมองภาพ และวางไมโครมิเตอร์มาตรฐาน 0.01 มม. (ขอแนะนำให้ใช้เลนส์สุ่ม ไมโครมิเตอร์ 0.01 มม.) บนโต๊ะทำงานแล้วกดให้แน่น

ปรับแกนของสเกลไมโครมิเตอร์ให้ขนานกับแกนของเรติเคิลช่องมองภาพของอุปกรณ์ และอ่านจำนวนเส้นสเกลไมโครมิเตอร์ n เส้นที่รวมอยู่ในเส้นเรติเคิล i ของเรติเคิลช่องมองภาพ ค่ากริดสัมพัทธ์ของเลนส์ใกล้วัตถุกับเลนส์ใกล้ตาคือ C{{0}}n/i * 0.01 มม. ค่าตารางของวัตถุประสงค์อื่นๆ จะถูกปรับเทียบตามนั้น