เกจวัดความหนาแบบออนไลน์ทำงานอย่างไร
เกจวัดความหนา JSP สำหรับการเคลือบฟิล์มบางเป็นเกจวัดความหนาออนไลน์ที่ใช้หลักการของเทคโนโลยีการเคลือบด้วยแสงเพื่อตรวจจับความหนาของวัสดุ การวัดสเปกตรัมและการควบคุมเครื่องวัดความหนาฟิล์มบางแบบออนไลน์มักใช้ในสายการผลิตสำหรับการทดสอบความหนาของวัสดุเป็นชุด ในกระบวนการวัดความหนาจะถูกวัดแบบเรียลไทม์เพื่อแสดงผลลัพธ์ต่อช่างเทคนิคหรือระบบควบคุม เพื่ออำนวยความสะดวกใน ช่างเทคนิคหรือระบบควบคุมสามารถตอบสนองต่อข้อมูลที่ผิดปกติได้ทันท่วงที ถือเป็นส่วนสำคัญของการผลิตแบบอัตโนมัติ ในปัจจุบัน เนื่องจากการพัฒนาอย่างรวดเร็วของวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี เครื่องวัดความหนาแบบออนไลน์ของการเคลือบฟิล์มจึงกลายเป็นเครื่องมือที่ขาดไม่ได้สำหรับการทดสอบความหนาของวัสดุในสายการผลิตเป็นชุด
ในปัจจุบัน เนื่องจากการพัฒนาอย่างรวดเร็วของวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี ขอบเขตการมองเห็นของเครื่องจักรจึงได้รับการพัฒนาและการใช้งานที่รวดเร็วขึ้น ในด้านการวัดความหนาของฟิล์ม เครื่องวัดความหนาออนไลน์ของการเคลือบฟิล์มก็ได้รับการพัฒนาเร็วขึ้นเช่นกัน ในปัจจุบัน ด้วยการพัฒนาอย่างต่อเนื่องของ วิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี ประเภทของเครื่องวัดความหนาตลอดจนลักษณะทางเทคนิคของเครื่องมือก็มีการปรับปรุงอย่างมาก เครื่องวัดความหนาในกระบวนการประยุกต์ของเครื่องวัดความหนา รวมกับเครื่องวัดความหนาประเภทต่าง ๆ การใช้ ที่แตกต่างกันมากมายและตอนนี้ใช้การวัดและควบคุมการวัดความหนาของฟิล์มเคลือบ wuxi jingpu การวัดสเปกตรัมที่ดีและการควบคุมการเคลือบ (ความหนาของฟิล์ม) เครื่องวัดความหนาออนไลน์ การใช้การรบกวนด้วยแสงนาโน ในเวลาเดียวกัน 20 ชั้นไม่ใช้การเคลือบ ฟิล์มสำหรับการวัดพร้อมกัน ในขณะที่ความแม่นยำสูงถึง 1 นาโนเมตร ซึ่งเป็นโซลูชั่นที่สมบูรณ์แบบสำหรับการแผ่รังสีเกจวัดความหนาออนไลน์คลาสเรย์แบบดั้งเดิม รอบออฟเซ็ต ความแม่นยำในการตรวจจับต่ำ ไม่สามารถตรวจจับข้อบกพร่องของความหนาได้ ของการเคลือบ การวัดสเปกตรัมที่แม่นยำและการควบคุมความหนาของการเคลือบการตรวจจับเกจวัดความหนาออนไลน์มีความแม่นยำสูง ในเวลาเดียวกันสามารถปรับเทียบอัตโนมัติออนไลน์แบบเรียลไทม์ รับประกันความแม่นยำในการตรวจจับของเกจวัดความหนาออนไลน์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ
หลักการตรวจจับเกจวัดความหนาแบบออนไลน์ของการเคลือบฟิล์ม:
เมื่อความยาวคลื่นเฉพาะของแสงผ่านวัสดุที่แตกต่างกัน (ความหนา ความหนาแน่น องค์ประกอบ) หลังจากพื้นผิวและการสะท้อนภายในหลายครั้งหลังจากการก่อตัวของขอบสเปกตรัมจะแตกต่างกันโดยสิ้นเชิง ระบบจะผ่านการวิเคราะห์ขอบการรบกวนสเปกตรัมที่ได้รับ ลักษณะแสงสะท้อน และคลังระบบของเส้นโค้งสเปกตรัมเพื่อจับคู่และเปรียบเทียบ ในขณะที่การจำลองและการปรับเส้นโค้งลักษณะเฉพาะ จากนั้นความหนาขององค์ประกอบที่แตกต่างกันของการวัดแบบออนไลน์
(1) แสงตกกระทบจะสะท้อนหลายครั้งบนพื้นผิวด้านบนและด้านล่างของฟิล์ม
(2) ความเข้มของแสงสะท้อนมีความสัมพันธ์กับดัชนีการหักเหของฟิล์ม ดัชนีการหักเหของสารตั้งต้น ความหนาของฟิล์ม และความยาวคลื่น
(3) ในกรณีที่ทราบดัชนีการหักเหของแสง ความหนาของฟิล์มจะถูกคำนวณตามฟังก์ชันของความเข้มและความยาวคลื่นของแสงสะท้อนที่วัดได้
