กล้องจุลทรรศน์คอนโฟคอลมองเห็นได้กี่นาโนเมตร

กล้องจุลทรรศน์คอนโฟคอลมองเห็นได้กี่นาโนเมตร

เป้าหมายของวัสดุศาสตร์คือการศึกษาอิทธิพลของโครงสร้างพื้นผิวของวัสดุที่มีต่อคุณสมบัติพื้นผิวของมัน ดังนั้น การวิเคราะห์ภูมิประเทศของพื้นผิวด้วยความละเอียดสูงจึงเป็นสิ่งสำคัญในการกำหนดพารามิเตอร์ที่เกี่ยวข้องกับความหยาบของพื้นผิว คุณสมบัติการสะท้อนแสง คุณสมบัติไตรโบโลยี และคุณภาพพื้นผิว เทคนิคคอนโฟคอลมีความสามารถในการวัดวัสดุที่มีคุณสมบัติการสะท้อนแสงของพื้นผิวที่หลากหลาย และได้รับข้อมูลการวัดที่มีประสิทธิภาพ

กล้องจุลทรรศน์คอนโฟคอลแบบเลเซอร์ที่ใช้หลักการของเทคโนโลยีคอนโฟคอล เป็นเครื่องมือตรวจสอบสำหรับการวัดระดับไมโครและนาโนบนพื้นผิวของอุปกรณ์และวัสดุที่มีความแม่นยำหลากหลาย ความละเอียดในการวัดสูงถึง 0.5 นาโนเมตร

การใช้งาน
1.เมมส์
การวัดขนาดองค์ประกอบไมครอนและซับไมครอน การสังเกตสัณฐานวิทยาของพื้นผิวหลังจากกระบวนการต่างๆ (การพัฒนา การแกะสลัก การทำให้เป็นโลหะ CVD PVD CMP ฯลฯ) การวิเคราะห์ข้อบกพร่อง

2.ส่วนประกอบทางกลที่มีความแม่นยำ อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์
การวัดมิติของส่วนประกอบไมครอนและซับไมครอน การสังเกตสัณฐานวิทยาของพื้นผิวหลังจากกระบวนการปรับสภาพพื้นผิวต่างๆ กระบวนการบัดกรี การวิเคราะห์ข้อบกพร่อง การวิเคราะห์อนุภาค

3.เซมิคอนดักเตอร์/จอแอลซีดี
การสังเกตภูมิประเทศของพื้นผิวหลังจากกระบวนการต่างๆ (การพัฒนา การแกะสลัก การทำให้เป็นโลหะ, CVD, PVD, CMP ฯลฯ) การวิเคราะห์ข้อบกพร่อง การวัดความกว้างของเส้นแบบไม่สัมผัส ความลึกของขั้น ฯลฯ

4. ไทรโบโลยี การกัดกร่อน และวิศวกรรมพื้นผิวอื่นๆ
การวัดปริมาตรของเครื่องหมายการเสียดสี การวัดความหยาบ ภูมิประเทศของพื้นผิว การกัดกร่อน และภูมิประเทศของพื้นผิวหลังวิศวกรรมพื้นผิวระดับซับไมครอน

ข้อกำหนดทางเทคนิค
รุ่น : VT6100
ช่วงจังหวะ: 100 * 100 * 100 มม
ช่วงการมองเห็น: 120×120 μm~1.2×1.2 มม

ความสามารถในการทำซ้ำการวัดความสูง (1σ): 12 นาโนเมตร
ความแม่นยำในการวัดความสูง: ± (0.2+L/100) μm
ความละเอียดในการวัดความสูง: 0.5 นาโนเมตร

ความสามารถในการทำซ้ำการวัดความกว้าง (1σ): 40 นาโนเมตร
ความแม่นยำในการวัดความกว้าง: ± 2%
ความละเอียดในการวัดความกว้าง: 1 นาโนเมตร