ข้อมูลเบื้องต้นเกี่ยวกับคุณสมบัติกล้องจุลทรรศน์โพรบสแกน
กล้องจุลทรรศน์สแกนนิงโพรบ (Scanning Probe Microscope, SPM) เป็นกล้องจุลทรรศน์แบบอุโมงค์สแกนและในกล้องจุลทรรศน์แบบอุโมงค์สแกนบนพื้นฐานการพัฒนากล้องจุลทรรศน์โพรบแบบใหม่ที่หลากหลาย (กล้องจุลทรรศน์แรงอะตอม AFM, กล้องจุลทรรศน์แรงเลเซอร์ LFM, กล้องจุลทรรศน์แรงแม่เหล็ก MFM และ เป็นต้น) เรียกรวมกันว่าการพัฒนาพื้นผิวของเครื่องมือวิเคราะห์ระดับนานาชาติในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมาเป็นการใช้เทคโนโลยีออปโตอิเล็กทรอนิกส์เทคโนโลยีเลเซอร์เทคโนโลยีการตรวจจับสัญญาณอ่อนการออกแบบและการประมวลผลทางกลที่มีความแม่นยำเทคโนโลยีการควบคุมอัตโนมัติเทคโนโลยีการประมวลผลสัญญาณดิจิตอล , เทคโนโลยีออพติคัลที่ประยุกต์, การได้มาและการควบคุมคอมพิวเตอร์ความเร็วสูงและเทคโนโลยีการประมวลผลกราฟิกความละเอียดสูงและความสำเร็จทางวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีสมัยใหม่อื่น ๆ ของการบูรณาการทางแสงเครื่องกลและไฟฟ้าของผลิตภัณฑ์ไฮเทค เครื่องมือกล้องจุลทรรศน์ชนิดใหม่นี้มีข้อได้เปรียบที่ชัดเจนเมื่อเปรียบเทียบกับกล้องจุลทรรศน์และเครื่องมือวิเคราะห์ต่างๆ ในอดีต:
1, SPM มีความละเอียดสูงมาก สามารถ "มองเห็น" อะตอมได้ง่าย ซึ่งยากต่อการเข้าถึงด้วยกล้องจุลทรรศน์ทั่วไปและแม้แต่กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน
2, SPM เป็นภาพความละเอียดสูงพื้นผิวตัวอย่างแบบเรียลไทม์แบบเรียลไทม์ มองเห็นอะตอมได้จริงๆ โครงสร้างพื้นผิวของตัวอย่างต่างจากเครื่องมือวิเคราะห์บางประเภทโดยอนุมานด้วยวิธีทางอ้อมหรือโดยการคำนวณ
3,SPM ใช้ในสภาพแวดล้อมที่ผ่อนคลาย กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนและเครื่องมืออื่น ๆ เกี่ยวกับความต้องการสภาพแวดล้อมการทำงานที่มีความต้องการมากขึ้น ตัวอย่างต้องอยู่ในสภาวะสุญญากาศสูงเพื่อทดสอบ SPM สามารถทำงานในสุญญากาศ แต่ยังทำงานในบรรยากาศ อุณหภูมิต่ำ อุณหภูมิห้อง อุณหภูมิสูง และแม้กระทั่งในสารละลาย ดังนั้น SPM จึงเหมาะสำหรับการทดลองทางวิทยาศาสตร์ในสภาพแวดล้อมการทำงานต่างๆ
