ความรู้เบื้องต้นเกี่ยวกับโครงสร้างของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน

ความรู้เบื้องต้นเกี่ยวกับโครงสร้างของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน

กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนประกอบด้วยสามส่วน ได้แก่ กระบอกเลนส์ ระบบสุญญากาศ และตู้จ่ายไฟ กระบอกเลนส์ส่วนใหญ่ประกอบด้วยปืนอิเล็กตรอน เลนส์อิเล็กตรอน ที่จับตัวอย่าง หน้าจอเรืองแสง และกลไกของกล้อง ส่วนประกอบเหล่านี้มักจะประกอบเป็นคอลัมน์จากบนลงล่าง ระบบสุญญากาศประกอบด้วยปั๊มสุญญากาศเชิงกล ปั๊มแพร่ และวาล์วสุญญากาศ ท่อส่งก๊าซเชื่อมต่อกับกระบอกเลนส์ และตู้จ่ายไฟประกอบด้วยเครื่องกำเนิดไฟฟ้าแรงสูง เครื่องควบคุมกระแสไฟกระตุ้น และชุดควบคุมการปรับแต่งต่างๆ

◆เลนส์อิเล็กทรอนิกส์

เลนส์อิเล็กตรอนเป็นส่วนที่สำคัญที่สุดของกระบอกเลนส์ของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน มันใช้สนามไฟฟ้าอวกาศหรือสนามแม่เหล็กที่สมมาตรกับแกนของกระบอกเลนส์เพื่อทำให้รางอิเล็กตรอนงอเข้ากับแกนเพื่อสร้างโฟกัส มีหน้าที่คล้ายกับเลนส์นูนแก้วเพื่อโฟกัสลำแสง จึงเรียกว่าอิเล็กตรอน เลนส์. กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนสมัยใหม่ส่วนใหญ่ใช้เลนส์แม่เหล็กไฟฟ้า ซึ่งโฟกัสอิเล็กตรอนผ่านสนามแม่เหล็กแรงสูงที่เกิดจากกระแสกระตุ้น DC ที่เสถียรมากผ่านขดลวดที่มีขั้วรองเท้า

◆ปืนอิเล็กตรอน

ปืนอิเล็กตรอนเป็นส่วนประกอบที่ประกอบด้วยไส้หลอดทังสเตนร้อน แคโทด กริด และแคโทด มันสามารถปล่อยและสร้างลำแสงอิเล็กตรอนด้วยความเร็วสม่ำเสมอ ดังนั้นความเสถียรของแรงดันเร่งจะต้องไม่น้อยกว่าหนึ่งในหมื่น