The basic working principle of Scanning probe microscopy is to use the interaction between the probe and the atoms and molecules on the sample surface, that is, when the probe and the sample surface are close to the nanometer scale, the physical fields of various interactions are formed, and the surface morphology of the sample is obtained by measuring the similar physical quantities. การสแกน โพรบ กล้องจุลทรรศน์ ประกอบด้วย ของ โพรบ% 2c สแกนเนอร์% 2c การกระจัด เซ็นเซอร์% 2c ตัวควบคุม% 2c การตรวจจับ ระบบ และ ภาพ ระบบ
The controller moves the sample in a vertical direction through a scanner to stabilize the distance (or physical quantity of interaction) between the probe and the sample at a fixed value; Simultaneously move the sample in the x-y horizontal plane, so that the probe scans the surface of the sample along the scanning path. The Scanning probe microscopy detects the relevant physical quantity signals of the interaction between the probe and the sample when the distance between the probe and the sample is stable; Under the condition of stable interaction physical quantities, the distance between the probe and the sample is detected by a vertical displacement sensor. The image system performs image processing on the surface of the sample based on the detection signal (or the distance between the probe and the sample).
% 0aAccording to different ทางกายภาพ ฟิลด์ ของ ปฏิสัมพันธ์ ระหว่าง โพรบ และ ตัวอย่าง 2c สแกน โพรบ กล้องจุลทรรศน์ ถูก แบ่ง เป็น แตกต่างกัน ชุด ของ กล้องจุลทรรศน์ ในหมู่ พวกเขา% 2c สแกน อุโมงค์ กล้องจุลทรรศน์ (STM) และ อะตอม แรง กล้องจุลทรรศน์ (AFM) เป็น สอง ทั่วไป ใช้ สแกน โพรบ กล้องจุลทรรศน์ สแกน อุโมงค์ กล้องจุลทรรศน์ ตรวจจับ พื้นผิว โครงสร้าง ของ ตัวอย่าง โดย ตรวจจับ อุโมงค์ ปัจจุบัน ระหว่าง โพรบ และ วัด ตัวอย่าง อะตอม แรง กล้องจุลทรรศน์ ตรวจจับ พื้นผิว ตัวอย่าง โดย ตรวจจับ ไมโคร คานเท้าแขน การเสียรูป เกิดขึ้น โดย ปฏิสัมพันธ์ แรง ระหว่าง ปลาย และ ตัวอย่าง (ซึ่ง อาจ เป็น น่าสนใจ หรือ น่ารังเกียจ) ผ่าน ตา ตาแมว การกระจัด เซ็นเซอร์
