วิธีการวัดความหนาของกล้องจุลทรรศน์สแกนอัลตราโซนิก
กล้องจุลทรรศน์สแกนอัลตราโซนิกทำงานอย่างไร
แผนภาพบล็อกของระบบกล้องจุลทรรศน์สแกนอัลตราโซนิกแสดงอยู่ ตัวรับเครื่องส่งสัญญาณอัลตราโซนิกสร้างพัลส์อัลตราโซนิกของความถี่เฉพาะ (5 MHz ถึง 2 GHz) และเข้าถึงตัวอย่างผ่านตัวกลางเชื่อมต่อ (เช่น น้ำปราศจากไอออน แอลกอฮอล์ ฯลฯ) เนื่องจากการส่งพลังงานอัลตราโซนิกต้องใช้ตัวกลางที่ต่อเนื่อง อินเทอร์เฟซที่ไม่ต่อเนื่อง เช่น รูพรุน สิ่งเจือปน การหลุดลอก รอยแตก ฯลฯ จะรบกวนการแพร่กระจายของสัญญาณอัลตราโซนิกหรือทำให้เกิดการสะท้อนของสัญญาณอัลตราโซนิก เมื่อสัญญาณอัลตราโซนิกผ่านตัวอย่าง เนื่องจากความแตกต่างของอิมพีแดนซ์อะคูสติกของวัสดุต่างๆ คลื่นสะท้อนจะปรากฏที่ส่วนต่อประสานที่มีข้อบกพร่องหรือการยึดเกาะที่ไม่ดี สัญญาณเสียงสะท้อนที่ได้รับจากทรานสดิวเซอร์แบบอัลตราโซนิกจะถูกส่งไปยังการ์ดเก็บข้อมูล A/D ผ่านตัวรับสัญญาณเครื่องส่งสัญญาณอัลตราโซนิก และสัญญาณเสียงสะท้อนจะได้รับการประมวลผลและแสดงบนหน้าจอในรูปแบบของรูปคลื่น ภาพภายในของอุปกรณ์ที่สอดคล้องกับรูปคลื่นสามารถแสดงบนอินเทอร์เฟซการทำงานได้เช่นกัน ระบบการเคลื่อนไหวแบบสามแกนมีทรานสดิวเซอร์อัลตราโซนิกเพื่อสแกนอุปกรณ์ภายใต้การทดสอบด้วยความเร็วสูง และสุดท้ายจะได้ภาพอัลตราโซนิกความละเอียดสูงของอินเทอร์เฟซที่เกี่ยวข้อง
หลักการวัดความหนาด้วยอุลตร้าโซนิค
ความถี่ของคลื่นอัลตราโซนิกสูง ทิศทางดี และความเร็วของเสียงในตัวกลางที่เป็นเนื้อเดียวกันจะเท่ากัน เมื่อพัลส์อัลตราโซนิกที่สร้างโดยทรานสดิวเซอร์อัลตราโซนิกมาถึงวัตถุที่วัดได้ผ่านสารเชื่อมต่อ ส่วนหนึ่งของสัญญาณอัลตราโซนิกจะทะลุผ่านวัตถุที่วัดได้ และส่วนอื่นๆ ของสัญญาณอัลตราโซนิกจะสะท้อนที่พื้นผิวด้านล่างของวัตถุ ทรานสดิวเซอร์อัลตราโซนิกรับเสียงสะท้อนที่สะท้อนจากพื้นผิวด้านล่างของชั้นที่วัดได้ คำนวณเวลาไป-กลับของคลื่นอัลตราโซนิกอย่างแม่นยำ และคำนวณค่าความหนาตามสูตร 1 จากความเร็วในการส่งผ่านอัลตราโซนิกของวัสดุทั่วไปในตารางที่ 1 สามารถดูข้อมูลความเร็วที่ใช้กันทั่วไปได้
วิธีการวัดความหนาด้วยอัลตราโซนิก
แผนผังของรูปคลื่นอัลตราโซนิกแสดงความสัมพันธ์ที่สอดคล้องกันระหว่างคลื่นอัลตราโซนิกกับการเคลื่อนผ่านผ่านอุปกรณ์ จากนั้น กุญแจสู่วิธีการวัดความหนาคือการหารูปคลื่นของชั้นความหนาที่สนใจ ตั้งค่าเกตพื้นผิวด้านหน้าของอุปกรณ์ และตั้งค่าเกตข้อมูลในชั้นความหนาที่สนใจ ในซอฟต์แวร์ Smartscan ของกล้องจุลทรรศน์สแกนอัลตราโซนิก กุญแจสำคัญคือวิธีกำหนดความหนาของอุปกรณ์และชั้นที่สนใจ
