หลักการทำงานของเครื่องวัดความหนาผิวเคลือบแบบออนไลน์คืออะไร
Jingpu Measurement and Control Thin Film Coating Online Thickness Gauge เป็นเครื่องมือวัดความหนาออนไลน์ที่ใช้หลักการของเทคโนโลยีการเคลือบด้วยแสงเพื่อตรวจจับความหนาของวัสดุ การวัดสเปกตรัมที่แม่นยำและการควบคุมเครื่องวัดความหนาของฟิล์มบางแบบออนไลน์มักใช้เพื่อทดสอบความหนาของวัสดุในสายการผลิตเป็นชุด การตอบสนองต่อข้อมูลที่ผิดปกติเป็นลิงค์สำคัญในการผลิตแบบอัตโนมัติ ในปัจจุบัน เนื่องจากการพัฒนาทางวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีอย่างรวดเร็ว เครื่องวัดความหนาแบบออนไลน์ของการเคลือบฟิล์มบางจึงกลายเป็นเครื่องมือที่ขาดไม่ได้สำหรับการตรวจจับความหนาของวัสดุเป็นชุดในสายการผลิต
ในปัจจุบันนี้เนื่องจากการพัฒนาทางวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีอย่างรวดเร็ว ขอบเขตของวิชันซิสเต็มจึงได้รับการพัฒนาและนำไปใช้อย่างรวดเร็ว ในด้านการวัดความหนาของฟิล์มบาง เครื่องวัดความหนาแบบออนไลน์สำหรับการเคลือบฟิล์มบางก็มีการพัฒนาอย่างรวดเร็วเช่นกัน ปัจจุบัน ด้วยการพัฒนาอย่างต่อเนื่องของวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี การวัดความหนา ประเภทและลักษณะทางเทคนิคของเครื่องมือได้รับการปรับปรุงให้ดีขึ้นอย่างมาก ในขั้นตอนของการใช้เครื่องวัดความหนารวมกับเครื่องวัดความหนาประเภทต่างๆ การใช้งานก็แตกต่างกันมากเช่นกัน ตอนนี้ใช้มาตรวัดความหนาของชั้นเคลือบฟิล์มบางของ Wuxi Precision Measurement and Control ตัวอย่างเช่น การวัดสเปกตรัมที่แม่นยำและการควบคุมการเคลือบ (ความหนาของฟิล์ม) เครื่องวัดความหนาแบบออนไลน์ใช้วิธีการรบกวนด้วยแสงนาโน ซึ่งสามารถวัดชั้นเคลือบที่ไม่ได้ใช้ 20 ชั้นได้พร้อมกันและ ฟิล์มในเวลาเดียวกันและความแม่นยำสูงถึง 1 นาโนเมตร ซึ่งแก้ปัญหาการแผ่รังสีแบบดั้งเดิมได้อย่างสมบูรณ์แบบ เครื่องวัดความหนาแบบออนไลน์มีข้อเสียในด้านการแผ่รังสี ระยะเวลาชดเชยที่ยาวนาน ความแม่นยำในการตรวจจับต่ำ และไม่สามารถตรวจจับความหนาของชั้นเคลือบได้ การวัดความแม่นยำและการควบคุมความหนาของชั้นเคลือบแบบออนไลน์มีความแม่นยำในการตรวจจับสูง และในขณะเดียวกันก็สามารถปรับเทียบแบบออนไลน์แบบเรียลไทม์โดยอัตโนมัติ ซึ่งรับประกันความแม่นยำในการตรวจจับของเกจวัดความหนาแบบออนไลน์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ
หลักการตรวจจับมาตรวัดความหนาแบบออนไลน์ของการเคลือบฟิล์มบาง:
เมื่อแสงที่มีความยาวคลื่นเฉพาะเจาะจงผ่านวัสดุต่างๆ (ความหนา ความหนาแน่น องค์ประกอบที่แตกต่างกัน) ขอบสเปกตรัมที่เกิดขึ้นหลังจากการสะท้อนหลายครั้งบนพื้นผิวและภายในจะแตกต่างกันอย่างสิ้นเชิง ระบบจะวิเคราะห์สเปกตรัมของแสงสะท้อนที่ได้รับ ลักษณะขอบสัญญาณรบกวนจะถูกจับคู่และเปรียบเทียบกับเส้นโค้งสเปกตรัมในไลบรารีระบบ และเส้นโค้งลักษณะเฉพาะจะถูกจำลองและติดตั้งในเวลาเดียวกัน จากนั้นจึงวัดการเคลือบผิวที่มีความหนาของส่วนประกอบต่างกัน ออนไลน์
(1) แสงที่ตกกระทบสะท้อนหลายครั้งบนพื้นผิวด้านบนและด้านล่างของฟิล์ม
(2) ความเข้มของแสงสะท้อนสัมพันธ์กับดัชนีการหักเหของแสงของฟิล์ม ดัชนีการหักเหของแสงของพื้นผิว ความหนาของฟิล์ม และความยาวคลื่น
(3) ในกรณีที่ทราบดัชนีการหักเหของแสง ให้คำนวณความหนาของฟิล์มตามฟังก์ชันของความเข้มแสงสะท้อนและความยาวคลื่นที่วัดได้
