วิธีทำความสะอาดช่องมองภาพด้วยกล้องจุลทรรศน์ (กล้องจุลทรรศน์)
ข้อดี:
1 ความละเอียดสูง ความละเอียดของกล้องจุลทรรศน์แบบใช้แสงคือ 0.2μm ความละเอียดของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องผ่านคือ 0.2nm กล่าวคือ กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องผ่านในกล้องจุลทรรศน์แบบใช้แสงบน พื้นฐานของการขยาย 1,000 เท่า
2 กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องผ่านมักใช้ในการสังเกตด้วยกล้องจุลทรรศน์ธรรมดาไม่สามารถแยกแยะโครงสร้างที่ดีของวัสดุได้ กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดใช้เป็นหลักในการสังเกตสัณฐานวิทยาของพื้นผิวแข็ง แต่ยังรวมไปถึง X-ray diffractometer หรืออิเล็กตรอนสเปกโตรมิเตอร์รวมกันซึ่งประกอบขึ้นเป็นไมโครโพรบอิเล็กตรอนซึ่งใช้สำหรับการวิเคราะห์องค์ประกอบของวัสดุ กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบปล่อยเพื่อศึกษาพื้นผิวการปล่อยอิเล็กตรอนในตัวเอง
ข้อเสีย:
1 ในตัวอย่างกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนจะต้องสังเกตในสุญญากาศดังนั้นจึงไม่สามารถสังเกตตัวอย่างที่มีชีวิตได้ ด้วยความก้าวหน้าของเทคโนโลยี กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดด้านสิ่งแวดล้อมจะค่อยๆ สามารถสังเกตตัวอย่างที่มีชีวิตได้โดยตรง
2, การประมวลผลตัวอย่างอาจสร้างโครงสร้างที่ไม่มีอยู่ในตัวอย่างแต่แรก ซึ่งทำให้การวิเคราะห์ภาพยากขึ้นหลังจากนั้น
3 เนื่องจากความสามารถในการกระเจิงของอิเล็กตรอนที่แข็งแกร่งมาก มีแนวโน้มที่จะเกิดการเลี้ยวเบนรองและอื่นๆ
4 เนื่องจากภาพฉายระนาบสองมิติของวัตถุสามมิติ บางครั้งภาพอาจไม่ซ้ำกัน
5 เนื่องจากกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องผ่านสามารถสังเกตตัวอย่างที่บางมากเท่านั้น และเป็นไปได้ว่าโครงสร้างของพื้นผิวของวัสดุจะแตกต่างจากโครงสร้างภายในของวัสดุ
6 ตัวอย่างบางเฉียบ (ต่ำกว่า 100 นาโนเมตร) กระบวนการเตรียมตัวอย่างซับซ้อนและยาก และมีความเสียหายต่อการเตรียมตัวอย่าง
7 ลำแสงอิเล็กตรอนอาจทำให้ตัวอย่างเสียหายโดยการชนและให้ความร้อน
8 นอกจากการซื้อกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนและการบำรุงรักษาราคาค่อนข้างสูง
