คือกำลังขยายของกล้องจุลทรรศน์อุโมงค์สแกน 300 ล้านเท่า หรือหลายล้านเท่า
กล้องจุลทรรศน์อุโมงค์สแกนหรือที่เรียกว่า "กล้องจุลทรรศน์อุโมงค์สแกน" และ "กล้องจุลทรรศน์สแกนอุโมงค์" เป็นเครื่องมือที่ใช้เอฟเฟกต์อุโมงค์ในทฤษฎีควอนตัมเพื่อตรวจจับโครงสร้างพื้นผิวของสาร มันถูกคิดค้นโดย Gerd Binning (G. Binnig) และ Heinrich Rohrer (H. Rohrer) ในห้องปฏิบัติการ Zurich ของ IBM ในเมืองซูริก ประเทศสวิตเซอร์แลนด์ ในปี 1981 และสามารถรับความละเอียดตามยาวที่ 0.01nm นักประดิษฐ์ทั้งสองจึงใช้ร่วมกัน รางวัลโนเบลสาขาฟิสิกส์ปี 1986 ร่วมกับ Ernst Ruska
Scanning Tunneling Microscope เรียกโดยย่อว่า STM ในฐานะที่เป็นเครื่องมือกล้องจุลทรรศน์โพรบสแกน กล้องจุลทรรศน์อุโมงค์สแกนช่วยให้นักวิทยาศาสตร์สามารถสังเกตและระบุตำแหน่งอะตอมแต่ละอะตอมด้วยความละเอียดสูงกว่ากล้องจุลทรรศน์แรงอะตอม
นอกจากนี้ กล้องจุลทรรศน์อุโมงค์สแกนสามารถใช้ปลายโพรบเพื่อควบคุมอะตอมได้อย่างแม่นยำที่อุณหภูมิต่ำ (4K) ดังนั้นจึงเป็นเครื่องมือวัดที่สำคัญเช่นเดียวกับเครื่องมือประมวลผลในนาโนเทคโนโลยี
