การใช้งานกล้องจุลทรรศน์คอนโฟคอลในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขนาดใหญ่- จำเป็นต้องวางชิปวงจรรวมไว้บนแผ่นเวเฟอร์ จากนั้นจึงแบ่งออกเป็นหน่วยต่างๆ และสุดท้ายจึงบรรจุและบัดกรี ดังนั้นการควบคุมและการวัดขนาดร่องตัดแผ่นเวเฟอร์ที่แม่นยำจึงเป็นส่วนสำคัญในกระบวนการผลิต
กล้องจุลทรรศน์คอนโฟคอลซีรีส์ VT6000 เป็นอุปกรณ์ตรวจสอบด้วยกล้องจุลทรรศน์ที่ Zhongtu Instrument เปิดตัว ซึ่งใช้กันอย่างแพร่หลายในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และบรรจุภัณฑ์ สามารถทำการสแกนแบบไม่สัมผัส- และสร้างสัณฐานวิทยาสามมิติ-ใหม่ของคุณลักษณะพื้นผิวที่มีรูปร่างที่ซับซ้อนและร่องตัดด้วยเลเซอร์ที่สูงชัน
กล้องจุลทรรศน์คอนโฟคอลซีรีส์ VT6000 มีความละเอียดทางแสงที่ดีเยี่ยม และสามารถสังเกตลักษณะของพื้นผิวเวเฟอร์ได้อย่างละเอียดผ่านระบบการถ่ายภาพที่ชัดเจน เช่น การสังเกตว่ามีข้อบกพร่อง เช่น การแตกหักของขอบและรอยขีดข่วนบนพื้นผิวเวเฟอร์หรือไม่ หอคอยไฟฟ้าสามารถสลับระหว่างกำลังขยายตามวัตถุประสงค์ต่างๆ ได้โดยอัตโนมัติ และซอฟต์แวร์จะจับขอบคุณลักษณะโดยอัตโนมัติเพื่อการวัดขนาดสอง-อย่างรวดเร็ว ดังนั้นจึงตรวจจับและควบคุมคุณภาพพื้นผิวเวเฟอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพมากขึ้น
ในกระบวนการตัดแผ่นเวเฟอร์ด้วยเลเซอร์ จำเป็นต้องมีการวางตำแหน่งที่แม่นยำเพื่อให้แน่ใจว่าสามารถตัดร่องตามแนวขอบที่ถูกต้องบนแผ่นเวเฟอร์ได้ คุณภาพของการแบ่งส่วนแผ่นเวเฟอร์มักจะวัดจากความลึกและความกว้างของร่องตัด กล้องจุลทรรศน์คอนโฟคอลซีรีส์ VT6000 ซึ่งใช้เทคโนโลยีคอนโฟคอลและติดตั้งโมดูลสแกนความเร็วสูง- มีซอฟต์แวร์การวิเคราะห์ระดับมืออาชีพพร้อมฟังก์ชันการวัดแบบหลายพื้นที่และอัตโนมัติ โดยสามารถสร้างรูปร่างสามมิติ-ของร่องเลเซอร์ของเวเฟอร์ที่ทดสอบขึ้นมาใหม่ได้อย่างรวดเร็ว และทำการวิเคราะห์หลายโปรไฟล์เพื่อรับข้อมูลความลึกและความกว้างของช่องสัญญาณของหน้าตัด-
