ประเภทและคุณสมบัติของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกน
กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกนมีหลายประเภทและกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกนประเภทต่าง ๆ มีความแตกต่างของประสิทธิภาพ ตามประเภทของปืนอิเล็กตรอนมันสามารถแบ่งออกเป็นสามประเภท: ปืนอิเล็กตรอนที่ปล่อยออกมาจากสนามปืนลวดทังสเตนและแลนทามเฮกซาบอไรด์ ในหมู่พวกเขากล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกนการปล่อยออกจากสนามสามารถแบ่งออกเป็นกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบฟิลด์การสแกนแบบเย็นและกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกนการปล่อยออกมาจากสนามร้อนขึ้นอยู่กับประสิทธิภาพของแหล่งกำเนิดแสง กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกนแบบฟิลด์เย็นต้องใช้สภาวะสูญญากาศสูงกระแสไฟลำแสงที่ไม่เสถียรอายุการใช้งานสั้นและต้องทำความสะอาดปลายเข็มอย่างสม่ำเสมอซึ่ง จำกัด อยู่ที่การสังเกตภาพเดี่ยวและมีช่วงแอปพลิเคชันที่ จำกัด กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกนการปล่อยความร้อนไม่เพียง แต่มีเวลาทำงานอย่างต่อเนื่องมานาน แต่ยังสามารถรวมกับอุปกรณ์เสริมต่างๆเพื่อให้ได้การวิเคราะห์ที่ครอบคลุม ในด้านธรณีวิทยาเราไม่เพียง แต่จำเป็นต้องสังเกตสัณฐานวิทยาเบื้องต้นของตัวอย่าง แต่ยังจำเป็นต้องวิเคราะห์คุณสมบัติอื่น ๆ ของตัวอย่างร่วมกับเครื่องวิเคราะห์ดังนั้นการใช้กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนการสแกนด้วยความร้อน
แม้ว่ากล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกนจะเป็นผู้มาใหม่ในตระกูลกล้องจุลทรรศน์ แต่ความเร็วในการพัฒนานั้นเร็วมากเนื่องจากข้อดีมากมาย
เครื่องมือนี้มีความละเอียดสูงและสามารถสังเกตรายละเอียดประมาณ 6nm บนพื้นผิวของตัวอย่างผ่านการถ่ายภาพอิเล็กตรอนรอง ด้วยการใช้ปืนอิเล็กตรอน Lab6 สามารถปรับปรุงได้อีก 3nm
เครื่องมือมีการเปลี่ยนแปลงการขยายที่หลากหลายและสามารถปรับได้อย่างต่อเนื่อง ดังนั้นขนาดของมุมมองที่แตกต่างกันสามารถเลือกได้สำหรับการสังเกตตามความจำเป็นและภาพที่ชัดเจนด้วยความสว่างสูงซึ่งยากที่จะบรรลุด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่งผ่านทั่วไปสามารถรับได้ที่กำลังขยายสูง
ความลึกของสนามและมุมมองของตัวอย่างมีขนาดใหญ่และภาพนั้นอุดมไปด้วยความหมายสามมิติ มันสามารถสังเกตพื้นผิวที่ขรุขระได้โดยตรงด้วยคลื่นขนาดใหญ่และภาพการแตกหักของโลหะที่ไม่สม่ำเสมอของตัวอย่างทำให้ผู้คนรู้สึกถึงอยู่ในโลกด้วยกล้องจุลทรรศน์
การเตรียมตัวอย่าง 4 ตัวอย่างนั้นง่าย ตราบใดที่บล็อกหรือตัวอย่างผงได้รับการรักษาเล็กน้อยหรือไม่ได้รับการรักษาพวกเขาสามารถสังเกตได้โดยตรงภายใต้กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกนซึ่งอยู่ใกล้กับสถานะธรรมชาติของสาร
5. คุณภาพของภาพสามารถควบคุมและปรับปรุงได้อย่างมีประสิทธิภาพด้วยวิธีการทางอิเล็กทรอนิกส์เช่นการบำรุงรักษาความสว่างและความคมชัดโดยอัตโนมัติการแก้ไขมุมเอียงตัวอย่างการหมุนภาพหรือการปรับปรุงการทนต่อความคมชัดของภาพผ่านการปรับ Y เช่นเดียวกับความสว่างปานกลางและความมืดในส่วนต่าง ๆ ของภาพ ด้วยการใช้อุปกรณ์การขยายแบบคู่หรือตัวเลือกรูปภาพภาพที่มีกำลังขยายที่แตกต่างกันสามารถสังเกตได้พร้อมกันบนหน้าจอฟลูออเรสเซนต์
6 สามารถอยู่ภายใต้การวิเคราะห์ที่ครอบคลุม ติดตั้งสเปกโตรมิเตอร์ X-ray ที่กระจายความยาวคลื่น (WDX) หรือสเปกโตรมิเตอร์ X-ray Spectrometer (EDX) เพื่อให้สามารถทำหน้าที่เป็นโพรบอิเล็กตรอนและตรวจจับอิเล็กตรอนที่สะท้อนออกมา, รังสีเอกซ์, cathodoluminescence, อิเล็กตรอนที่ส่ง, อิเล็กตรอนสว่าน การขยายการประยุกต์ใช้กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกนไปยังวิธีการวิเคราะห์ด้วยกล้องจุลทรรศน์และไมโครพื้นที่ต่างๆได้แสดงให้เห็นถึงความหลากหลายของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบสแกน นอกจากนี้ยังเป็นไปได้ที่จะวิเคราะห์พื้นที่ขนาดเล็กที่เลือกของตัวอย่างในขณะที่สังเกตภาพสัณฐานวิทยา โดยการติดตั้งสิ่งที่แนบมาของตัวยึดตัวอย่างเซมิคอนดักเตอร์ทางแยก PN และข้อบกพร่องขนาดเล็กในทรานซิสเตอร์หรือวงจรรวมสามารถสังเกตได้โดยตรงผ่านแอมพลิฟายเออร์ภาพแรงไฟฟ้า เนื่องจากการใช้งานคอมพิวเตอร์อิเล็กทรอนิกส์โดยอัตโนมัติและกึ่งอัตโนมัติสำหรับโพรบอิเล็กตรอนอิเล็กตรอนแบบสแกนจำนวนมากความเร็วของการวิเคราะห์เชิงปริมาณได้รับการปรับปรุงอย่างมาก
